Жарым өткөргүч материалдардын микроструктурасын талдоо жана баалоо
Кызмат киришүү
Ири масштабдуу интегралдык микросхемалардын үзгүлтүксүз өнүгүшү менен чиптерди өндүрүү процесси барган сайын татаалдашып баратат жана жарым өткөргүч материалдардын анормалдуу микроструктурасы жана курамы чиптин түшүмдүүлүгүн жогорулатууга тоскоол болууда, бул жаңы жарым өткөргүчтөрдү жана интегралдык микросхемаларды ишке ашырууда чоң кыйынчылыктарды туудурат. схема технологиялары.
GRGTEST кардарларга жарым өткөргүчтөрдүн жана интегралдык микросхемалардын процесстерин өркүндөтүүгө жардам берүү үчүн, анын ичинде пластинка деңгээлинин профилин жана электрондук анализди даярдоо, жарым өткөргүч өндүрүшүнө тиешелүү материалдардын физикалык жана химиялык касиеттерин комплекстүү талдоо, жарым өткөргүч материалды булгоочу анализди түзүү жана ишке ашырууну камтыйт. программасы.
Кызмат чөйрөсү
Жарым өткөргүч материалдар, органикалык майда молекулалык материалдар, полимердик материалдар, органикалык/органикалык гибриддик материалдар, органикалык эмес металл эмес материалдар
Кызмат программасы
1. багытталган ион нур технологиясы (DB-FIB), чип жергиликтүү аймакты так кесүү жана реалдуу убакыт электрондук сүрөткө негизделген Chip Wafer деңгээл профилин даярдоо жана электрондук талдоо, чип профилинин түзүмүн, курамын жана башка ала аласыз маанилүү процесс маалымат;
3. Жарым өткөргүч материалдар үчүн булгоочу заттардын анализинин планын түзүү жана ишке ашыруу.Бул кардарларга булгоочу заттардын физикалык жана химиялык мүнөздөмөлөрүн толук түшүнүүгө жардам берет, анын ичинде: химиялык курамын талдоо, компоненттердин мазмунун талдоо, молекулярдык түзүлүш талдоо жана башка физикалык жана химиялык мүнөздөмөлөрдү талдоо.
Кызмат заттары
| Кызматтүрү | Кызматбуюмдар |
| Жарым өткөргүч материалдардын элементтик курамын талдоо | l EDS элементардык анализи, |
| Жарым өткөргүч материалдардын молекулалык структурасын талдоо | l FT-IR инфракызыл спектрин талдоо, l Рентген нурларынын дифракциясы (XRD) спектроскопиялык анализи, l Ядролук магниттик-резонанстык поп анализи (H1NMR, C13NMR) |
| Жарым өткөргүч материалдардын микроструктуралык анализи | l Кош багытталган ион нуру (DBFIB) кесим талдоо,
l Атомдук күч микроскопиясы (AFM) беттик морфологияга байкоо жүргүзүү үчүн |
